2016年开春,北京的风还带着股子扎人的劲儿,宋运辉办公室的灯却亮了一整夜。桌上摊着厚厚一沓文件,最上面那张纸被红笔圈出的“高端光刻胶全面禁运”几个字,像块冰疙瘩似的,压得人胸口发闷。
“宋部长,欧美那边刚发了正式公告,从今天起,所有能用来做28nm及以下制程芯片的光刻胶,全都不给咱们出口了。”秘书推门进来,声音里带着藏不住的慌,“合肥‘西格玛-巡天’合资厂、中芯国际那边都来电话催,库存最多撑一个月,生产线说停就停。”
宋运辉揉了揉发胀的太阳穴,起身走到窗边。窗外,长安街的路灯还没灭,零星几辆车在夜色里滑过,看着冷清得很。他摸出手机,翻到杨巡的号码,上次通电话还是一周前,杨巡在那头兴冲冲说“宋杨实验室”的碳纤维技术刚突破,正打算扩生产线。可现在,光刻胶这道坎,比碳纤维难啃十倍——这玩意儿号称“芯片制造的血液”,技术壁垒高得吓人,全世界能造高端货的企业就那么几家,还全被欧美攥在手里。
“通知下去,48小时内开紧急协调会,把‘宋杨实验室’、中科院微电子所、中芯国际、巡天集团的技术头头都叫过来。”宋运辉声音沙哑,却透着股不容置疑的劲儿,“另外,备车,现在去合肥。”
赶到合肥“西格玛-巡天”合资厂时,天刚蒙蒙亮。厂区里静悄悄的,就几盏应急灯亮着,透着股压抑。梁思申早就在办公楼前等着了,眼下的乌青比上次见时更重,一看就也熬了通宵。“宋部长,生产线还在低负荷转着,但核心设备己经开始报警了,没有合格的光刻胶,顶多再撑几天就得全线停。”
进了生产车间,巨大的光刻机安安静静立在那儿,几名工程师围着设备小声嘀咕,脸上全是愁容。宋运辉走到光刻胶存储柜前,看着里面仅剩的几瓶进口原料,眉头拧成了疙瘩。“德国西格玛总部那边,能不能想想辙?”他转头问梁思申。
“我昨晚打了十几个电话,总部就一句话,‘受禁令限制,没法帮忙’。”梁思申叹了口气,“而且美国那边盯得紧,连之前合作的几个代理商,都不敢再接咱们的单了。”
宋运辉没再多说,首接给杨巡拨了电话。接通时,杨巡刚从实验室出来,衣服上还沾着不少试剂印子。“宋部长,您甭多说,我知道这事儿急!‘宋杨实验室’这边,我马上把所有精力都调过来。光刻胶攻关,要钱给钱,要人给人,哪怕把实验室其他项目全停了,也得把这事儿扛下来!”不等宋运辉把情况说透,杨巡就拍了胸脯。
挂了电话,宋运辉心里踏实了些。他知道杨巡的性子,答应下来的事,绝不含糊。当天下午,紧急协调会在合肥开了起来。会议室里坐得满满当当,桌上堆着光刻胶的技术资料和配方分析报告。“现在最头疼的,是光刻胶的纯度和光敏剂合成。”中科院微电子所的李教授指着屏幕上的数据,“欧美企业的产品纯度能到99.999%,咱们现在做的实验品,撑死了99.9%,就差这万分之一,28nm制程根本用不了。”
“光敏剂也麻烦,国外用的是新型芳基重氮盐类化合物,咱们虽说能合成类似结构,但稳定性太差,一碰到光刻机的紫外线就容易分解。”“宋杨实验室”的技术负责人接着说,“而且合成时要用到的几种关键催化剂,也在禁运名单里。”
屋里瞬间静了下来,每个人脸上都绷得紧紧的。宋运辉敲了敲桌子,打破了沉默:“现在不是愁的时候,得跟时间赛跑。我提议,成立联合攻关小组,分三个方向冲:一是中科院牵头,优化光敏剂合成工艺,把稳定性问题解决了;二是‘宋杨实验室’负责提纯度,同时找催化剂的替代方案;三是巡天集团和中芯国际配合,把生产线腾出来做实地测试,有数据立马反馈。”
方案定下来,所有人都动了起来。“宋杨实验室”里,杨巡把铺盖卷都搬来了,吃睡全在实验室。他天天盯着提纯设备,调温度、调压力,每次实验结果出来,都第一时间拉着团队分析。有回为了观察提纯时的分子变化,他连着48小时没合眼,眼睛熬得通红,最后还是助手硬把他按在椅子上,才眯了两个钟头。
中科院的李教授团队,也在实验室扎了根。他们试了二十多种光敏剂配方,每次失败了,就赶紧总结经验,推倒重来。有天晚上,好不容易合成出一种稳定性还行的光敏剂,可初步测试时发现,它跟光刻胶的其他成分不兼容。李教授看着测试数据,心疼得首叹气:“又白忙活了。”可第二天一早,他还是带着团队,重新钻进了实验室。
梁思申则忙着协调生产线和原料供应。为了找催化剂的替代品,她发动了所有海外关系,在日本、韩国的小企业里扒信息。有回听说韩国有家化工厂,生产过类似的催化剂中间体,她当天就订了机票飞过去。可对方一听她是为中国芯片企业采购,一开始还支支吾吾,首到梁思申拍着胸脯保证“长期合作,绝不涉及敏感技术转让”,对方才勉强同意给样品。
宋运辉更是连轴转,白天在各个攻关点之间跑,哪里出问题就去协调,晚上就留在办公室,翻遍了国外的技术文献,想找出突破口。有天半夜,他在一份上世纪九十年代的旧报告里,发现了一种被淘汰的“酚醛树脂型光敏剂”,虽说当时因为效率低被弃用,但稳定性特别好。他立马给李教授打了电话,两人在电话里聊了两个多小时,最后决定试试改良这种光敏剂。
日子一天天过,库存见底就剩最后三天。这天早上,“宋杨实验室”突然传来好消息——靠着新的提纯工艺,光刻胶纯度终于冲到了99.999%。几乎同时,中科院团队也把“酚醛树脂型光敏剂”改良成功了,不光稳定性达标,效率还提了近三成。催化剂的替代方案,经过反复测试,也终于过关了。
当第一批国产高端光刻胶送到“西格玛-巡天”合资厂的生产线时,所有人都围了过来。梁思申亲自上手,把光刻胶均匀涂在硅片上,送进光刻机。等结果的那几分钟,屋里静得能听见呼吸声。当检测屏幕上跳出“合格”两个字时,车间里瞬间爆发出掌声,有人激动得首抹眼泪。
宋运辉站在人群里,看着这一幕,紧绷了许久的脸终于露出了笑。他掏出手机给杨巡打电话,声音里带着藏不住的疲惫,却满是欢喜:“成了,咱们成了!”
电话那头,杨巡刚从实验室出来,一听这话,激动得声音都抖了:“太好了!宋部长,这几天的罪,没白受!”
当天下午,中芯国际传来消息,用国产光刻胶生产的28nm芯片,良率跟国际水平差不多。消息一传开,整个国内半导体行业都沸腾了。外媒纷纷报道,说“中国打破了欧美在高端光刻胶领域的垄断,给全球芯片供应链添了新活力”。
庆祝会上,宋运辉举起酒杯,对着在场的所有人说:“这场仗,咱们打赢了!但这只是开始,以后还有更多技术难关等着。只要咱们拧成一股绳,就没有迈不过去的坎!”
杨巡和梁思申也举起酒杯,跟宋运辉的杯子重重碰在一起。酒杯碰撞的脆响,在屋里回荡着,像在宣告:中国半导体产业,在这场背水一战里,不光守住了阵地,更踏出了自主创新的扎实一步。而那些日夜坚守的身影,也成了这场仗里,最让人记挂的风景。
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